如影随形

取得重大成功！奇普，大新闻！

发布时间：2025-10-27 10:15编辑：365bet亚洲体育浏览（164）

我国芯片领域取得新突破。近日，北京大学化学与分子工程学院彭海林教授团队及其合作者利用冷冻电子断层扫描技术，研究了可减少光刻缺陷的光刻胶溶液的微观三维结构、界面分布和行为行为。光刻工艺是整个集成电路制造工艺中耗时最长、难度最大的工艺。光刻胶是光刻工艺中最重要的材料，对光刻工艺有着重要的影响。随着中国半导体厂商的强势崛起以及下游需求的扩大，光刻胶市场规模持续增长。据瑞冠产业研究院报告，2024年我国光刻胶市场规模将增长至114亿元以上。国产替代进程KRF光刻胶等中高端产品正在加速发展。预计2025年光刻胶市场规模将达到123亿元。天天科技重大突破，光刻技术是集成芯片制造工艺持续微缩的主要驱动力之一。近日，北京大学化学与分子工程学院彭海林教授团队及其合作者首次利用冷冻电子断层扫描（液体环境中分子的界面分布和行为）原位研究，指导开发可减少光刻的工业解决方案。相关论文近日发表在《Nature》杂志上。“显影”是光刻的主要步骤之一，显影去除了光刻的主要步骤之一。 曝光的光刻胶区域并将电路图案精确地转移到硅片上。光刻胶就像是用来画电路的颜料s。它在显影机中的动向直接决定了电路绘图的准确性和质量，进而影响芯片的良率。长期以来，光刻胶在显影液中的微观行为已经成为“黑匣子”，行业内的优化流程只能依靠反复试验。这已经成为制约7纳米及以下先进工艺良率提升的主要瓶颈之一。为了解决这一问题，研究团队首次将低温电子断层扫描技术引入半导体领域。在晶圆上进行通常的光刻曝光后，它们快速吸收电子显微镜网格上含有光刻胶聚合物的显影剂，并在几毫秒内迅速冻结成玻璃态，从而“冻结”溶液中光刻胶的真实状态。然后研究人员在冷冻电子显微镜中倾斜样品，收集二维投影图像一系列倾斜角度的三维图像，然后基于分辨率优于5纳米的计算机三维重建算法将二维图像组合成高分辨率的三维视图。该方法解决了传统技术无法实现的原位、三维、高分辨率观测三大痛点。这项技术带来了许多新发现。论文通讯作者之一、北京大学化学与分子工程学院教授高益勤教授表示，过去业界认为熔融光刻胶聚合物主要分散在液体中。然而，三维图像显示大部分被吸附在气液界面。研究小组首次直接观察到光刻胶聚合物的“内聚缠结”，这种缠结依靠弱力或疏水相互作用来结合在一起；此外，聚合物rs被吸附在气液界面，更容易卡住，形成平均尺寸约为30纳米的聚集颗粒。这些“组合颗粒”是实际缺陷的根源。它们很容易沉积成精细的电路图案，从而允许应该分开的电路连接在一起。该团队提出了两种控制缠结的实用解决方案：适当提高曝光后烘烤温度，防止聚合物缠结，减少大团聚体的形成；优化显影工艺，使晶圆表面始终存在连续的液膜，从而去除聚合物并防止其去除。通过两种解决方案的结合，成功去除了12英寸晶圆表面光刻胶残留物造成的图案缺陷，缺陷数量减少了99%以上。影响有多大？这项研究的影响远远超出了光刻领域本身。IT带来的冷冻电子断层扫描的强大功能为在原子/分子尺度上原位研究液体环境中发生的各种化学反应（例如催化、合成甚至生命过程）提供了强大且多功能的工具。对于芯片行业来说，对液体中高分子材料微观行为的精准把握，将极大促进先进制造诸多关键环节的工艺控制和良率提升，包括光刻、刻蚀、清洗等。神港证券的研究报告显示，光刻是整个集成电路制造工艺中最长、难度最大的工艺。花费约50%的时间，成本约占IC制造成本的1/3。光刻胶是光刻工艺中最重要的消耗品，光刻胶的质量对光刻工艺有着重要的影响。在光刻工艺中，需要涂上一层光刻胶涂覆在硅片上。暴露于紫外线后，光刻胶的化学性质发生变化。显影后，去除曝光的光刻胶，从而实现电路图案从掩模版到光刻胶的转移。经过蚀刻工艺后，电路图案从光刻胶转移到硅片上。在蚀刻过程中，光刻胶起到防止腐蚀的保护作用。随着集成电路的发展，芯片制造特征的尺寸越来越小，对光刻胶的要求也越来越高。光刻胶的主要技术参数包括分辨率、对比度和灵敏度。为适应集成电路发展的需要，光刻胶正向高分辨率、高对比度、高灵敏度方向发展。从需求端来看，光刻胶可分为半导体光刻胶、面板光刻胶和PCB光刻胶英石。其中，半导体光刻胶的技术壁垒最高。全球市场研究机构Qyresearch的报告显示，光刻胶市场长期被东京安佳、信越化学、JSR、富士胶片等国际巨头垄断。近年来，受多种因素影响，我国半导体自主可控步伐加快，产业链上下游多个环节取得重大技术突破。随着中国半导体厂商在当前需求扩大的情况下强势崛起，作为半导体产业重要组成部分的光刻胶规模也出现了显着增长。据瑞冠产业研究院报告，2023年我国光刻胶市场规模约为109.2亿元，2024年将增长至114亿元以上。KRF光刻胶等O端产品加速推进，预计202530万元光刻胶尺寸占比将达到12%。编辑：罗晓霞 排版：刘俊宇 通讯员：李凌峰 特别声明：以上内容（如有则包括照片或视频）由自媒体平台“网易号”用户上传发布。本平台仅提供信息存储服务。 注：以上内容（包括mga照片和视频，如有）由网易HAO用户上传发布，网易HAO为社交媒体平台，仅提供信息存储服务。